目前国内制造滚珠丝杠的厂家，工艺路线多少都有些差别，产品质量也存在不少问题。一般的制造工艺步骤为：下料(材料绝大多数为GCr15)、校直、车外圆、中频淬火、回火、修研中心孔、磨外圆、螺纹磨磨削丝杠螺纹、铣键槽或方身、钳工工艺、去应力、半精密螺纹磨磨削丝杠螺纹、再去应力、研磨中心孔、精密外圆磨、精密螺纹磨磨削丝杠螺纹、倒两端不完整牙1/4圈、螺纹磨削倒角螺纹及顶端45°处理。
以上工艺技术的缺陷：
1、中频淬火后，丝杠易弯曲，热处理变形较大；且回火时间短，易造成丝杠硬度不均匀，应力不易去除，去应力处理时间长，易留残余应力；
2、磨削螺纹时，因为螺纹硬度高、磨削量大，造成磨削时间长、消耗材料多，易产生弯曲变形，同时由于磨削量大，温度高，易产生磨削裂纹和烧伤，造成产品报废；
3、精密磨削的螺纹滚道，因为机床本身的精度和加工调试水平，容易产生滚道波纹，表面质量差；
4、丝杠硬度低(一般为HRC60左右)、耐磨性差、疲劳寿命短、噪音水平高(一般74db左右)；
5、由于磨削后表面较粗糙，丝杠粗装配后要进行长时间跑和；
6、工序繁杂、加工周期长；
7、由于磨削工作量大，磨削时产生大量油雾，对环境造成污染，对工人健康造成损害。
目的是提供一种高硬度、高耐磨、低粗糙度、低噪音、长疲劳寿命的精密滚珠丝杠制造方法。
采用38CrMoAl为材料，包括下料、校直、车外圆、调质、修研中心孔、磨外圆、螺纹磨磨削丝杠螺纹、铣键槽或方身、钳工工艺、去应力、研中心孔、辉光离子氮化、脉冲电化学复合光整加工、倒两端不完整牙1/4圈、螺纹磨削倒角螺纹及顶端45°处理步骤。
以现有的下料、校直、车外圆、热处理、修研中心孔、磨外圆、铣键槽或方身、螺纹粗磨、倒两端不完整牙1/4圈、螺纹磨削倒角螺纹及顶端45°处理工艺步骤为基础，选用38CrMoAl为丝杠材料，在粗磨螺纹达到精度要求后对丝杠整体进行辉光离子氮化处理，辉光离子氮化后的丝杠不再进行去应力、半精磨、精磨工艺，而是应用脉冲电化学复合光整技术进行光整加工。
1、使用38CrMoAl，有利于辉光离子氮化的进行；
2、丝杠调质、粗磨后进行辉光离子氮化，可使丝杠硬度达到HRC70，远超过一般丝杠的硬度，从而使丝杠的耐磨性大大增加，并且控制好辉光离子氮化的工艺参数，可使丝杠不改变精度，也不需要再进行去应力处理；
3、采用脉冲电化学复合光整技术对丝杠进行光整加工，可使丝杠表面粗糙度粗磨后一步降低至Ra0.1μm以下，最低可达到Ra0.02μm，从而加工出超光滑的表面；
4、由于丝杠硬度高、表面粗糙度低，可使丝杠的疲劳寿命较普通丝杠增加3-5倍，使用噪声降低6-8分贝；
5、丝杠粗磨、渗氮(硬度达HRC70)后直接进行光整，不需进行精磨、研磨和抛光，大幅度节省了机械加工的时间，使生产效率大大提高；
6、脉冲电化学复合光整加工的效率与丝杠表面硬度无关，对于HRC70硬度的表面也能很快完成光整加工；
7、光整加工过程中不产生磨削力和磨削热，不产生附加应力，丝杠的精度高，表面也不产生磨削烧伤和裂纹；
8、光整后的丝杠调整装配后可直接提供给用户，不需要进行长时间跑和，生产周期大大缩短；
9、由于减少了半精磨、精磨的工序，车间里由于磨削加工所生产的油雾大幅减少，对环境的污染也大幅减少，是一种绿色制造方法。
另，所述脉冲电化学复合光整加工时脉冲频率为4-7KHz；脉冲电流峰值为150-300A；工作比为20-40％；工具压力为8-15N。
所述辉光离子氮化处理时，将清洗过的丝杠装炉，在阴极底盘上沿圆周按内、中、外三层均匀摆放丝杠，然后经抽真空、打弧、升温、保温，待温度降到200℃时，充气开炉，取出加工的工件。
所述抽真空时，在25min内使炉内压力低于50Pa。
所述打弧时，将电源脉宽调为15-20μs，电源的接通率约为18％，电压由点燃电压渐增至800-850V，炉内压力为40-120Pa，打弧时间在1.5h以内，打弧结束后，控制温度达100±2℃。
所述升温是：打弧结束后，脉冲电源的脉宽渐调至90μs，电源的接通率约为75％，逐渐增大电压和电流加热，加热速度小于3℃/min，280℃开始通NH3，控制NH3的流量为0.35L/min。
所述保温是：当温度升到500-520℃后，以0.7-1.2L/min的流量通入NH3，保温3h，保温气压约600Pa。
具体实施方式
丝杠做进一步说明：
选用38CrMoAl为丝杠材料，基于脉冲电化学复合光整技术的精密滚珠丝杠的制造工艺步骤为：
下料、校直、车外圆、调质、修研中心孔、磨外圆、螺纹磨磨削丝杠螺纹、铣键槽或方身、钳工工艺、去应力、研中心孔、辉光离子氮化、脉冲电化学复合光整加工、倒两端不完整牙1/4圈、螺纹磨削倒角螺纹，最后进行顶端45°处理。
其中，脉冲电化学复合光整技术在本发明工艺中的应用是本发明所独有的，具体工艺参数如下：
1、所使用脉冲电流波形如图1：
2、脉冲频率为4-7KHz；
3、脉冲电流峰值为150-300A；
4、工作比为20-40％；
5、工具压力为8-15N。
另，辉光离子氮化处理的具体工艺过程：
将清洗过的丝杠装炉，在阴极底盘上沿圆周按内、中、外三层均匀摆放50根左右丝杠，随炉装试样4块。具体工艺过程及参数如下：
1、抽真空：25min内使炉内压力低于50Pa。
2、打弧：将电源脉宽调为15-20μs，电源的接通率约为18％，电压由点燃电压渐增至800-850V，炉内压力为40-120Pa，打弧时间在1.5h以内，打弧结束后，温度达100℃左右。
3、升温：打弧结束后，脉冲电源的脉宽渐调至90μs，电源的接通率约为75％，逐渐增大电压和电流加热，加热速度小于3℃/min，280℃开始通NH3，控制NH3的流量为0.35L/min。
4、保温：当温度升到500-520℃后，以0.7-1.2L/min的流量通入NH3，保温3h，保温气压约600Pa，
5、停机，冷却3h，待温度降到200℃时，充气开炉，取出加工的工件。
